本發明提供一種物件表面改質處理方法，其係提供含有微奈米氣泡以及微奈米粒子之液體在物件的一待加工表面上，使得待加工表面上覆蓋有液體，然後使用能量供應裝置對待加工表面上方的液體施加能量，使待加工表面上方的液體內含有的微奈米氣泡破裂，產生衝擊波帶動微奈米粒子對該加工表面進行衝擊，以硬化該待加工表面。
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