一種偏振型雙光束法布里培洛干涉儀,包含一發光單元、一分光單元、一共振腔單元及一感測單元。該共振腔單元依序包括一參考鏡、一第一相位延遲片、一光波過濾元件,及一量測鏡。該光波過濾元件僅供只通過該第一相位延遲片一次的光通過。一部分之一起始光束被該參考鏡反射而形成一第一光束,另一部分之該起始光束依序穿透該參考鏡、該第一相位延遲片及該光波過濾元件,且被該量測鏡反射而形成一第二光束。藉由該第一相位延遲片與該光波過濾元件的設置,該感測單元最後所接收的光訊號接近正交訊號,有利於後端的訊號分析並能提升檢測效率。
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